微纳制造及MEMS/MOEMS实验室成立于2017年9月，位于青岛科技大学四方校区。研究中心致力于光学微纳器件的设计与制造以及MEMS/MOEMS器件的设计与仿真。目前实验室拥有博士后一名，研究生两名。现已购进设备有微纳仿真服务器工作平台，微纳设计图形工作站。主要科研任务是完成MEMS微镜阵列设计与仿真，MEMS微麦克风设计与仿真等工作。

在3年内建立成为具备一定规模的微纳米器件仿真实验平台。